Самыми высокотехнологичными в настоящее время являются ультразвуковые увлажнители воздуха. В них встроена пластина, которая вибрирует с большой частотой. Вода не успевает перемещаться со скоростью пластины и создаётся местное разрежение. В связи с этим возникает явление кавитации, то есть кипения воды при комнатной температуре с выбросом в воздух мелкодисперсных частиц. Вентилятор придаёт туману скорость и он растворяется в воздухе, увлажняя его. Потребляемая мощность таких увлажнителей совсем невелика, а эффективность паровыделения большая, особенно при применении подогрева пара. Иногда из-за повышеной жёсткости воды появляется белый налёт на мебели, но эта проблема в увлажнителях AirSonic устранена, благодаря использованию фильтр-картриджей для смягчения воды.